TAKACHIHO


高纯度气体高纯度氧气、氮气、一氧化氮气、 VOC-FREE 氮气和氦气标准气体高千穗ＴＥＲＲＡ系列产品、汽车尾气排放测定用标准气体混合气体激光用混合气体、照明光源用混合气体


高纯度胂、磷化氢、三氟化硼、 11BF3 、四氟化锗、硅烷、乙硼烷、氧氮化膜用 NO 、甲基、离子渗透用气体、半导体制造用混合气体等。


碳氢化合物、氟利昂等。


MO-CVD 装置、 SiC-CVD 装置、氨气除害装置、压力调节器、气体检查器、紧急断流阀等。