高純度ガス標準ガス各種ガス製品ガス関連機器索引

混合ガスとは、各種高純度ガスを原料として混合したものです。
*充填圧力は11.8MPaを原則としています。また、ガスの種類・濃度によって充填圧力がさらに低くなることがあります。
*ガスの種類により製造可能な濃度範囲は異なります。
2種成分混合ガス製造の可否を表(Table-1)に示します。

Mixture gases listed here are manufactured by blending high purity gases.
* Standard fill pressure is 11.8MPa. However, maximum fill pressure may be lower depending on gases and concentrations.
* The range of available concentration is different by gases.
The product availability of 2 kinds of mixture gases is listed below as Table-1.

Table-1
化学式
Chemical Formula 		成分名 Component バランスガス　Balance gas
N2 He Ar H2 Air
Ar アルゴン Argon ○ ○ - ○ ×
AsH3 アルシン Arsine ○ ○ ○ ○ ×
B2H6 ジボラン Diborane ○ ○ ○ ○ ×
BCl3 三塩化ホウ素 Boron trichloride ○ ○ ○ × ×
BF3 三フッ化ホウ素 Boron trifluoride ○ ○ ○ × ×
Cl2 塩素 Chlorine ○ ○ ○ × ×
CO 一酸化炭素 Carbon monoxide ○ ○ ○ ○ ▽
CO2 二酸化炭素 Carbon dioxide ○ ○ ○ ○ ○
COS 硫化カルボニル Carbonyl sulfide ○ ○ ○ × ×
D2 重水素 Deuterium ○ ○ ○ × ▽
F2 フッ素 Fluorine ○ ○ ○ × ×
GeH4 ゲルマン Germane ○ ○ ○ ○ ×
H2 水素 Hydrogen ○ ○ ○ - ▽
H2S 硫化水素 Hydrogen sulfide ○ ○ ○ × ▽
H2Se セレン化水素 Hydrogen selenide ○ ○ ○ ○ ×
HBr 臭化水素 Hydrogen bromide ○ ○ ○ × ×
HCl 塩化水素 Hydrogen chloride ○ ○ ○ × ×
He ヘリウム Helium ○ - ○ ○ ○
Kr クリプトン Krypton ○ ○ ○ ○ ○
N2 窒素 Nitrogen - ○ ○ ○ -
N2O 亜酸化窒素 Nitrous oxide ○ ○ ○ × ○
Ne ネオン Neon ○ ○ ○ ○ ○
NF3 三フッ化窒素 Nitrogen trifluoride ○ ○ ○ × ○
NH3 アンモニア Ammonia ○ ○ ○ ○ ▽
NO 一酸化窒素 Nitric oxide ○ ○ ○ × ×
NO2 二酸化窒素 Nitrogen dioxide ○ ○ ○ × ○
O2 酸素 Oxygen ○ ○ ○ × -
PH3 ホスフィン Phosphine ○ ○ ○ ○ ×
SF6 六フッ化硫黄 Sulfur hexafluoride ○ ○ ○ × ○
Si2H6 ジシラン Disilane ○ ○ ○ ○ ×
SiF4 四フッ化ケイ素 Silicon tetrafluoride ○ ○ ○ × ×
SiH2Cl2 ジクロロシラン Dichlorosilane ○ ○ ○ × ×
SiH4 モノシラン silane ○ ○ ○ ○ ×
SO2 二酸化硫黄 Sulfur dioxide ○ ○ ○ × ○
Xe キセノン Xenon ○ ○ ○ ○ ○
(CH3)2Zn ジメチル亜鉛 Dimethylzinc ○ ○ ○ ○ ×
CH3SiH3 モノメチルシラン Monomethylsilane ○ ○ ○ ○ ×
(CH3)3SiH トリメチルシラン Trimethylsilane ○ ○ ○ ○ ×
CH4 メタン Methane ○ ○ ○ ○ ▽
CH3Br 臭化メチル Methyl bromide ○ ○ ○ × ×
CH2Br2 ジブロモメタン Dibromomethane ○ ○ ○ × ▽
CH3OH メチルアルコール Methyl alcohol ○ ○ ○ × ▽
CH3SH メチルメルカプタン Methyl mercaptan ○ ○ ○ × ×
C2H6 エタン Ethane ○ ○ ○ × ▽
C2H4 エチレン Ethylene ○ ○ ○ × ▽
C2H2 アセチレン Acetylene ○ ○ ○ × ×
C2H4O 酸化エチレン Ethylene oxide ○ ○ ○ × ×
C2H5OH エチルアルコール Ehtyl alcohol ○ ○ ○ × ▽
CH2CHCl 塩化ビニル Vinyl chloride ○ ○ ○ × ×
(CH3)2O ジメチルエーテル Dimethyl ether ○ ○ ○ × ×
(CH3)2S ジメチルサルファイド Dimethyl sulfide ○ ○ ○ × ×
C3H8 プロパン Propane ○ ○ ○ × ▽
C3H6 プロピレン Propylene ○ ○ ○ × ▽
n-C4H10 ブタン Butane ○ ○ ○ × ▽
i-C4H10 イソブタン Isobutane ○ ○ ○ × ▽
1-C4H8 1-ブテン 1-Butene ○ ○ ○ × ▽
i-C4H8 イソブテン 2-Methylpropene ○ ○ ○ × ▽
1,3-C4H6 1,3-ブタジエン 1,3-Butadiene ○ ○ ○ × ×
n-C5H12 ペンタン Pentane ○ ○ ○ × ▽
i-C5H12 イソペンタン Isopentane ○ ○ ○ × ▽
neo-C5H12 ネオペンタン Neopentane ○ ○ ○ × ▽
C6H6 ベンゼン Benzene ○ ○ ○ × ▽
n-C6H14 ヘキサン Hexane ○ ○ ○ × ▽
C7H8 トルエン Toluene ○ ○ ○ × ▽
m-C6H4(CH3)2 メタキシレン m-Xylene ○ ○ ○ × ▽
o-C6H4(CH3)2 オルトキシレン o-Xylene ○ ○ ○ × ▽
p-C6H4(CH3)2 パラキシレン p-Xylene ○ ○ ○ × ▽
CF4 フロン-14 Tetrafluoromethane ○ ○ ○ × ×
CHCl2F フロン-21 Dichlorofluoromethane ○ ○ ○ × ×
CHClF2 フロン-22 Chlorodifluoromethane ○ ○ ○ × ×
CHF3 フロン-23 Trifluoromethane ○ ○ ○ × ×
CH2F2 フロン-32 Difluoromethane ○ ○ ○ × ×
C2F6 フロン-116 Hexafluoroethane ○ ○ ○ × ×
C2HF5 フロン-125 Pentafluoroethane ○ ○ ○ × ×
CH2FCF3 フロン-134a 1,1,1,2-Tetrafluoroethane ○ ○ ○ × ×
CClF2CH3 フロン-142b 1-Chloro-1,1-difluoroethane ○ ○ ○ × ×
CH3CF3 フロン-143a 1,1,1-Trifluoroethane ○ ○ ○ × ×
C3F8 フロン-218 Perfluoropropane ○ ○ ○ × ×

○：製造可能です。
▽：製造可能ですが「可燃性ガス＋支燃性ガス」の為、混合濃度に制限があります。
×：製造不可です。
記載されていないガスにつきましては、お問い合わせください。

○ : Available.
▽ : Available, but mixture concentration is limited because it is a mixture of flammable and oxidizer gases.
× : Unavailable.
Please inquire us about gases not listed here.

容器バルブ
混合ガスの濃度・充填圧力・容器サイズ・バルブ種類につきましては、お問い合わせください。
圧力調整器
圧力調整器につきましては製品項目をご覧ください。
その他の仕様
その他のガス、仕様につきましても可能な限り供給いたしますのでご相談ください。
Cylinder Valves
Please inquire us about concentration, fill pressure, cylinder and valve size of mixtures.
Regulator
Please see Regulator(Gases related apparatus).
Other Special Specifications
Please inquire us for other gases and specifications. We try to meet your specific requirements as much as possible.


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