半導体製造用ガス Semiconductor Gases

AsH3
Arsine
アルシン
可燃性 毒性
　
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm 左
SUS(D),B(D)
圧力調整器
Regulator
TUSシリーズ

AsH3 S
99.9999% Special
AsH3 R
99.999% Research
注　釈 別名　水素化ヒ素　医薬用外毒物

BCl3
Boron Trichloride
三塩化ホウ素
不燃性 毒性 腐食性
　
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm
PF1/4		 右
右(0.35L)
SUS(D)
 
BCl3 R
99.999% Research
注　釈 医薬用外毒物

11BF3
Boron-11 Trifluoride
エンリッチボロン
不燃性 毒性 腐食性
　
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm
PF1/4		 右
右(0.35L)
SUS(D)
圧力調整器
Regulator
TUSシリーズ

11BF3 R
99.9% Research
注　釈 別名　三フッ化ホウ素（11）　医薬用外毒物